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  • HP/CP System

  • HP/CP System
  • TFT / CF 공정의 Coating 후 열처리 장비로서 Hot Plate & Cool Plate System을 적용하여, Fume Control 및 각종 배관의 간결화로 Maintenance성 우수함.
    한국정부가 인정한 세계일류 상품임.
  • E-Mail : [FPD@globalzeus.com]
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  • Hot Air Oven System

  • Hot Air Oven System
  • 250℃ 이하 공정 기판 경화처리용 열풍Type의 Oven System으로 Uniformity가 탁월하고, 안정성이 뛰어나다.
  • E-Mail : [FPD@globalzeus.com]
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  • Pre Bake Oven

  • Pre Bake Oven
  • PI막의 가경화 목적의 Hot Plate System이며,Fume Control과 온도Uniformity 가 탁월하고, 각종배관의 간결화로 Maintenance성 우수함.
    MURA 발생 억제를 위한 PIN Moving system을 적용함.
  • E-Mail : [FPD@globalzeus.com]
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  • LTPS 고온 OVEN

  • LTPS 고온 OVEN
  • TFT 공정에서 기판의 고온 처리용 열풍방식 OVEN과 공냉 방식의 Cooling 기능을 수행할 수 있도록 제작된 OVEN System.
    사용온도 : Max 750℃대응용
  • E-Mail : [FPD@globalzeus.com]
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  • Oxide 고온 OVEN

  • Oxide 고온 OVEN
  • TFT 공정에서 증착 후 산화막 형성을 위한 Glass의 고온 처리용 설비
    사용온도 : Max 500℃대응용
  • E-Mail : [FPD@globalzeus.com]
  • Download :                  
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