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  • 1.Roller 구동에 의한 물류 반송 System
  • E-Mail : [FPD@globalzeus.com]
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  • 1.기판을 180도 회전 시키는 물류 반송 System
  • E-Mail : [FPD@globalzeus.com]
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  • 1.기판의 진행 방향을 변경해 주는 물류 반송 System
  • E-Mail : [FPD@globalzeus.com]
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  • CIM(Computer Integrated Manufacturing)

  • CIM(Computer Integrated Manufacturing)
  • "1.장비 및 반송라인에서 발생하는 공정데이터를 SECS(Semi Equipment Communication Standard)
    Protocol을 이용하여 HOST와 송/수신 관리하고, 실시간으로 라인상태를 Monitoring하는
    최적화된 생산 관리 System"
  • E-Mail : [FPD@globalzeus.com]
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  • Buffer

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  • 기판 흐름의 정체 및 Cooling 개념의 물류 반송 System
  • E-Mail : [FPD@globalzeus.com]
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