ZEUS

PRODUCTS

ZEUSは、半導体・ディスプレイ・ロボット・材料および部品分野において、さまざまなお客様のニーズに対応したトータルソリューションを提供しています。

Single Type・Batch Typeのウェハ洗浄装置を中心に、半導体前工程および先端パッケージング向け装置、半導体用ケミカル・電子材料を提供しています。

事業紹介

Display産業分野の熱処理工程装置(HPCP / OVEN等)を開発・生産しており、工場自動化システムを適用すること
で効率的な生産環境を提供しています。

事業紹介

独自開発したJoint Module技術を基盤に、 6-Axis、SCARA、Deltaなど多様な産
業用ロボットを提供しており、自動化装置および生産ラインを
Turnkey形式で提供しています。

事業紹介

半導体、ディスプレイ、MEMS等に使用される高純度化
学製品や分析装置、コンポーネントを供給しており、品質管理と技術開発の継続的
な強化に取り組んでいます。

事業紹介

1981

半導体装置・部品事業へ進出

300mm Batch
Wafer wet processing

2000

本SES社半導体装備部門買収後、
株式会社JET設立(2009) Wet Cleaning Process
300mm Batch / Single System
製造および納品開始

300mm Single Wafer Wet Processing
国産化 (8CHB)

2010

工程Line-up拡大 Fab Processes : HTS(High Temperature Sulfuric),
3HF, Poly, LAL500, FPM, O3HF, etc.
PKG : Flux Clean, etc.

2023年にTPMからJPXへ上場移転

300mm Single Wafer
Wet Processing (12CHB)

2020

Advanced Packaging工程進出
Cleaner, Etcher, Stripper

RTP工程進出
High performance heater manufacturing

Rapid Thermal
Processing System

さまざまな半導体
製造工程に対応

FEOL / BEOL / PKG
Wet EtchおよびCleanに対
するTotal Solutionを提供

多数の量産
検証装置を保有

Single / Batch/ 200mm / 300mm / Adv. PKG 基盤の豊富な現場経験と、 R&D・Simulationに基づく検証技術を保有しています。

顧客カスタム型
装置を提供

LAB / OSAT / IDM
1CHB ~ 12CHB
オーダーメイド装置の製作

World wide +1,400
Systems販売

国内外多数の量産装置販売実績を基に
Global Value Chainを構築

Rapid Thermal
Processing [RTP]

RTPコア技術保有
半導体のほか産業群と
Applicationに適用可能